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由于磁懸浮軸承技術(shù)具有無(wú)摩擦、率、高精度、長(cháng)壽命、低噪音、無(wú)油污等突出優(yōu)點(diǎn),一旦實(shí)現產(chǎn)業(yè)化,將成為能源、節能減排、真空機械等重大戰略領(lǐng)域的技術(shù)。 針對這一科技創(chuàng )新成果,在磁懸浮分子泵領(lǐng)域打破國外的技術(shù)壟斷,提高了國內真空分子泵的技術(shù)水平,推動(dòng)分子泵產(chǎn)品向應用發(fā)展,同時(shí)也為磁懸浮軸承的工業(yè)化進(jìn)展開(kāi)拓探索一條技術(shù)開(kāi)發(fā)路線(xiàn),為進(jìn)一步推廣磁懸浮軸承大規模應用提供了實(shí)際經(jīng)驗。
分子泵是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為: ?。?)牽引分子泵氣體分子與高速運動(dòng)的轉子相碰撞而獲得動(dòng)量,被驅送到泵的出口,分子泵。 ?。?)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復合型的分子真空泵。分子泵牽引分子泵是氣體分子與高速轉動(dòng)的轉子相碰撞而獲得運動(dòng)的動(dòng)能,被送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵。它的特點(diǎn)是起動(dòng)時(shí)間短,在分子流態(tài)下有很高的壓縮比,能抽除各種氣體和蒸汽,特別適于抽除較重的氣體。
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許多設備在工作時(shí)都會(huì )產(chǎn)生磁場(chǎng),比如,家用電冰箱的磁場(chǎng)強度約有10高斯(1mT),MRI()的磁場(chǎng)強度甚至會(huì )高達3T;盡管可以采取屏蔽等措施,仍然可能會(huì )有外漏的雜散磁場(chǎng),對工作在附近的分子泵產(chǎn)生不好的影響。磁場(chǎng)對渦輪分子泵的可能影響當渦輪分子泵的轉子在磁場(chǎng)中旋轉時(shí),會(huì )產(chǎn)生渦流。這些電流傾向于阻礙轉子的旋轉,并導致電機的功率增大。
由于泵轉子不與定子接觸,渦生的熱量和額外的功率主要通過(guò)輻射消散。因此,轉子可能會(huì )過(guò)熱,即使泵體及其它靜止的部件仍然是冷的。為了確認磁場(chǎng)對分子泵工作的影響,德國卡爾斯魯厄理工學(xué)院()設計并執行了下面的測試:測試條件和裝置被測分子泵的型號為T(mén)wisTorr304FSCFF6,使用一對亥姆霍茲線(xiàn)圈(直徑120厘米)來(lái)產(chǎn)生包圍整個(gè)泵的均勻磁場(chǎng)。
被測分子泵由一臺渦旋干泵作為前級,分子泵的進(jìn)氣口壓力抽至1E-3mbar以下(該壓力以下,熱對流幾乎為零,分子泵轉子的熱量?jì)H可以通過(guò)輻射傳遞出去很小的一部分)。使用20℃的冷卻水對分子泵持續進(jìn)行冷卻;分子泵的控制器會(huì )自動(dòng)調整電機電流,保持轉子以恒定轉速運行。
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分子泵轉速對氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度有什么影響?
今天,小編將向大家介紹分子泵轉速對氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度有什么影響,希望對大家有所幫助。分子泵是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種泵。分子泵是獲得高和超高的關(guān)鍵設備之一。
它被廣泛應用于電子工業(yè)、表面工程、核能工業(yè)、等離子體技術(shù)、薄膜工程等工業(yè)領(lǐng)域和研究部門(mén)。它操作簡(jiǎn)單、啟動(dòng)時(shí)間短,在分子流區域內對各種氣體的有效抽速幾乎不變,對分子量高的氣體壓縮比高,可以獲得清潔無(wú)油的高和超高環(huán)境。
分子泵是氦質(zhì)譜檢漏儀中獲得高重要部位,是氦質(zhì)譜檢漏儀中不可或缺關(guān)鍵部件,分子泵性能直接影響檢漏儀性能參數的好壞,分子泵的發(fā)展直接影響著(zhù)氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)。逆擴散型的檢漏儀的檢漏口是連接到高泵與低泵之間,所以被檢試件的可檢漏壓力就是高真泵的前級耐壓。如果試件壓力超過(guò)這個(gè)壓力,將使高泵不能正常工作。普通渦輪分子泵的前級耐壓,一般不超過(guò)50Pa,遠達不到高壓檢漏的要求。
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